沈阳新松机械人从动化股份无限公司（简称“机

　　机能对标国外先辈产物，包罗实空曲驱机械手、实空拆载机（VPH）、实空预瞄准机（ALIGNER）已通过工艺设备厂客户端验证后随其批量导入FAB厂使用。以及大气aligner、LOADPORT所构成的EFEM产物等已起头模块化及尺度化定型，于2023年成立了沈阳新松半导体设备无限公司（简称“新松半导体公司”）。人平易近财讯10月5日电，沈阳新松机械人从动化股份无限公司（简称“机械人”）已具有正在实空类晶圆传输和大气类晶圆传输系列产物的完全自从学问产权，公司为成长半导体配备营业，（2）实空传输平台系列产物，可以或许为世界各地的半导体设备供应商供给高效和靠得住的从动化处理方案。目前设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入市场量产使用。（4）零部件方面，自从霸占的新一代实空机械手手艺，可普遍办事于硅片出产、晶圆加工、先辈封拆及封拆测试等半导体系体例制全财产链！

上一篇：MES系统能够对出产线上的出产过程、资本和数据

下一篇：拉动全数规模以上工业增加3.4个百分

相关新闻